大理石平台
 
 
空气弹簧
精密气浮直线台 精密气浮转台 多轴精密气浮台 精密直驱直线台 笛卡尔龙门系统 多轴精密直驱直线台 精密垂直升降台 气浮导轨

QFGT三轴超精密气浮运动台

产品信息
产品类别:笛卡尔龙门系统
产品简介:1、非接触式气浮导轨结构 2、直驱直线电机驱动 3、龙门结构,大理石平台刚度大稳定性好 4、定位精度±0.3um,重复定位精度±0.1um 5、Z轴采用重力平衡气缸,确保的运行精度
三轴超精密气浮运动台

产品特点

1、非接触式气浮导轨结构

2、直驱直线电机驱动

3、龙门结构,大理石平台刚度大稳定性好

4、定位精度±0.3um,重复定位精度±0.1um

5、Z轴采用重力平衡气缸,确保的运行精度

6、优化线缆管理系统

7、根据需求可定制

 

背景介绍

        随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能相应提高,我司在运动控制上有着丰富的制造经验,推出了一款大行程的QFGT系列三轴精密气浮运动台用于晶圆激光加工。同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它高端制造等行业。

 

定制化设计

       我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程,增加多工位,提升工作效率。

       底轴Y轴用于微动调整步进,微动步距10nm,气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆,高平面度指标保证了理想的切割直线,同时能够实现高动态响应和快速位置整定,Z轴采用低摩擦气缸配重,用于微调整,气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能,行程可定制。

       大理石龙门结构设计,刚性好,稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴,龙门架X轴行程可定制,提升工作效率。

      精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。

       整套设备可以提供焊接件底座,花岗岩基座或主动被动隔振台等。
三轴超精密气浮运动台
三轴超精密气浮运动台
三轴超精密气浮运动台

 
分享到:

产品列表

推荐产品

联系我们

空气弹簧-直线电机-光学气浮运动平台-BILZ隔振组件-气浮导轨--深圳煜熙自动化
手机:18026981676
邮箱:644487444@qq.com
地址:深圳市光明区马田街道合水口社区上屯旧村156栋

联系我们

18026981676 仅限中国 9:00-20:00
微信二维码
 Copyright © 2018-2020 深圳市煜熙自动化科技有限公司司版权所有    粤ICP备19086219号-1  网站地图 sitemap技术支持: 深圳SEO