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QFGD系列双轴超精密气浮运动台

产品信息
产品类别:笛卡尔龙门系统
产品简介:1、高稳定性全闭式气浮结构 2、大理石气浮导轨、刚度大、低摩擦 3、直驱直线电机驱动 4、龙门结构,大理石平台刚度大稳定性好 5、定位精度±0.25um,重复定位精度±0.1um
双轴超精密气浮运动台

产品特点

1、高稳定性全闭式气浮结构

2、大理石气浮导轨、刚度大、低摩擦

3、直驱直线电机驱动

4、龙门结构,大理石平台刚度大稳定性好

5、定位精度±0.25um,重复定位精度±0.1um

6、速度稳定性0.01%@200mm/s

7、速度可达1m/s,最大加速度可达1g

8、根据需求可定制

 

背景介绍

       随着科研及制造业不断发展,相应的加工检测设备的性能相应提高,我司在运动控制上有着丰富的制造经验,推出了一款大行程的QFGD系列双轴超精密气浮运动台,用于半导体膜厚检测,同时胶厚测量、激光加工、封装检测及其它高端制造业。

 

定制化设计

       我司制造的大行程双轴气浮运动台用于半导体膜厚检测,气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程,增加多工位,提升工作效率。

       底轴Y轴用于微动调整步进,微动步距10nm,气浮结构保证了高直线度,上轴X轴搭载检测仪器,高平面度指标保证了理想的切割直线,在200mm/s时速度稳定性0.01%,同时能够实现高动态响应和快速位置整定。各轴行程可定制。

       大理石龙门结构设计,刚性好,稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴,龙门架X轴行程可定制,提升工作效率。

       精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观更整洁,创造良好的作业环境。

        整套设备可以提供焊接件底座,花岗岩基座或主动被动隔振台等。
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