光学平台
当今科学界的科学实验需要越来越精密的计算和测量，因此一个能与外界环境和干扰相对隔离的设备仪器对实验的结果测量时非常重要的。能够固定各种光学元件以及显微镜成像设备等的光学实验平台也成为科研实验中必备的产品。
 
LTO 光学实验平台采用新型隔振机构，大幅度提高了超微振动绝缘性能。在半导体行业等超精密加工领域，制造、检验、测量的精细程度须达到纳米级和埃级，Biliz LTO 光学实验平台捕捉了这种时代的需求。
 
LTO 光学实验平台产品，除采用新型隔振机构以外，还拥有彻底考虑了振动绝缘的台架结构，与设置环境匹配的简单设计，以及操作方便的众多可选择品种。他们能为高分辨率检查、超微细部观察及测定等最精细的试验工作提供高性能的隔振效果。
Bilz 光学实验平台的特点是高端的品质和功能。
产品描述：
调整脚，焊接钢框架。
● 薄膜空气弹簧 BiAir®处于框架和需要隔振的平台之间（垂直固有频率 2.3Hz）
● 机械气动定位控制（精度±1/100mm 或±1/10mm）
 

应用范围

QFHDS用于晶圆测量：

       系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求。

       针对本行业应用，我司研发出QFHDS双轴H形超精密气浮运动台，同时满足许多高精度应用，如半导体加工，光子学，精密扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到一流的精度和稳定性性能。

 微纳加工解决方案       

        微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件，以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求，必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。

微纳制造包括微制造和纳制造两个方面。

       (1)微制造：目前有两种不同的微制造工艺方式，一种是基于半导体制造工艺的光刻技术、LIGA技术、键合技术、封装技术等，这些工艺技术方法较为成熟，但普遍存在加工材料单一、加工设备昂贵等问题，且只能加工结构简单的二维或准三维微机械零件，无法进行复杂的三维微机械零件的加工;另一种是机械微加工，是指采用机械加工、特种加工及其他成形技术等传统加工技术形成的微加工技术，可进行三维复杂曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微细磨削、微细车削、微细铣削、微细钻削、微冲压、微成形等。
　　(2)纳制造：纳制造是指具有特定功能的纳米尺度的结构、器件和系统的制造技术，包括纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等。

       针对以上状况，AUS-PRECISION研发出一款QFL3D系列三轴精密气浮运动台，由于结构紧凑广泛应用于精密加工行业。由于非接触式运动，高精度是行业内的理想选择。

       QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步进，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是最终的解决方案。

       根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小，各轴也可以定制化，保证精度性能。

       经过多年的研究，线缆管理对精指标度有影响，我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。

       气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。

产品特点：

1.  非接触式气浮导轨结构

2.  重复定位精度±75nm

3.  微动步进5nm

4.  结构紧凑、高精度

5.  优化线缆管理系统

6.  Z轴低摩擦气缸配重

7.  根据需求可定制

规格指标

注：1. 空气供应需清洁，干燥至0°F露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。

       2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%RH.